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5.1 特种气体管理系统
	5.1.1 应用多种特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统,并应符合下列规定:
	    1 特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警的功能,并应能记录、存储和打印;
2 特种气体管理系统宜为独立的系统,应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能;
2 特种气体管理系统宜为独立的系统,应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能;
	    3 特种气体管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连。
	5.1.2 特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心,在消防控制室和应急处理中心宜设特种气体报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘。
	5.1.3 特种气体气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘的可编程控制器的通信接口应与气体管理系统连接。
条文说明
    5.1.1 近年来,我国电子工厂尤其是芯片生产工厂、TFT-LCD液晶显示器生产工厂等生产过程均需要应用多种特种气体,据了解,这类工厂多数设有特种气体管理系统,特种气体管理系统控制多采用可编程逻辑控制器方式控制,简单系统多采用单台报警控制主机或二次仪表控制,特种气体管理系统在有条件的工厂宜独立设置系统,为此做了本条规定。
5.1.2 根据我国电子类工厂的实际情况,规定特种气体管理系统设置在全厂动力中心,并在消防控制室和应急管理中心设报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘,这是为了实现工厂动力控制系统、消防控制和应急管理的集中控制、统一指挥。
5.1.2 根据我国电子类工厂的实际情况,规定特种气体管理系统设置在全厂动力中心,并在消防控制室和应急管理中心设报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘,这是为了实现工厂动力控制系统、消防控制和应急管理的集中控制、统一指挥。
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- 前言
 - 1 总则
 - 2 术语
 - 3 特种气体站房
 - 3.1 一般规定
 - 3.2 特种气体站房布置
 - 3.3 特种气体设备布置
 - 4 特种气体工艺系统
 - 4.1 一般规定
 - 4.2 特种气体输送系统
 - 4.3 吹扫和排气系统
 - 4.4 硅烷工艺系统
 - 5 生命安全系统
 - 5.1 特种气体管理系统
 - 5.2 特种气体探测系统
 - 5.3 其他安全设施
 - 5.4 特种气体报警的联动控制
 - 6 特种气体管道输送系统
 - 6.1 一般规定
 - 6.2 材料选型
 - 6.3 管道设计
 - 6.4 管道标识
 - 7 建筑结构
 - 7.1 一般规定
 - 7.2 建筑防火
 - 7.3 建筑构造措施
 - 8 电气与防雷
 - 8.1 配电与照明
 - 8.2 防雷与接地
 - 9 公用工程
 - 9.1 给水排水
 - 9.2 消防
 - 9.3 采暖通风与空气调节
 - 10 特种气体系统工程施工
 - 10.1 一般规定
 - 10.2 主要设备、材料进场验收
 - 10.3 气瓶柜与气瓶架的安装
 - 10.4 阀门箱与阀门盘的安装
 - 10.5 尾气处理装置及纯化器的安装
 - 10.6 特种气体管道安装
 - 10.7 特种气体管道改扩建工程施工
 - 11 特种气体系统工程验收
 - 11.1 一般规定
 - 11.2 设备验收
 - 11.3 管路与系统验收
 - 11.4 气体探测(监控)系统验收
 - 附录A 特种气体管道氦检漏方法
 - 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
 - 本标准用词说明
 - 引用标准名录
 
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